技术路线，和现在的干式光刻机相比，在曝光区域和光刻机透镜之间充满水，可以利用折射让光源的波长更短。”

    经过这三年的一起工作，周新和林本坚之间建立了充分的信任基础，因此像这种技术机密他能直接告诉对方。

    信任基础是一方面，另外双方的利益通过新芯半导体高度绑定又是另一方面，周新不仅给了林本坚新芯光刻机的股份，还考虑到新芯光刻机在短期很难创造效益，甚至因为阿美利肯的打压长期都无法创造效益，因此除了新芯光刻机股份之外，还给了对方新芯科技芯片代工这一板块的期权。

    这是台积电绝对开不出的待遇。

    林本坚听完后说：“我本来也打算和你说我的想法，我正打算和新芯光刻机的同事们一起写几篇论文发给你，说服你选择浸没式，好吧你叫浸没式，其实我们打算叫它湿法光刻机。”

    是的，林本坚也打算在新芯光刻机130nm制程工艺的光刻机上采取浸没式的技术路线。

    周新听完后倒也没有特别惊讶，作为光学领域的顶级牛人，林本坚能想到湿法并不奇怪，周新问起另一个问题：“为什么要争取我的同意？

    之前我们在沟通要做光刻机这件事的时候，不就说好了，我不会干预新芯光刻机的经营，经营全权交给你吗？”

    林本坚点头：“之前我们确实是这样沟通的，但是现在情况又不一样，要走湿法光刻机的路线，是在和全世界为敌。

    我们需要说服光刻机各种元器件的供应商，尤其是蔡司，和我们配合，我们做过湿法光刻机的预研究工作。

    和干式光刻机相比，我们需要改变镜头组，之前的透镜组合可能无法满足我们的需要。

    中间还涉及大量的技术性工作，比如说水放进去之后空气可能会产生气泡，水必须非常均匀，但是实际上会有光照到水上，光照到水上会产生温差，温差就会导致水不均匀。水不均匀会进一步影响到成像。

    中间有大量技术性工作要做，新芯光刻机的体量太小，过去的时间里业内在干式光刻机领域投入了超过十亿美元的研发费用，我们现在相当于完全另起炉灶。

    湿法光刻机是否真的能达到我们预期的效果，我不确定。

    这是赌上新芯光刻机的命运。”林本坚眼神中展露出从未有过的认真。

    这么说，这条技术路线赌赢了，手握大量技术专利，即便再通过瓦森纳协定卡脖子，一来可以出售专利给其他光刻机公司，然后继续在这一技术路线上继续研发，积累技术优势，构建自己的专利墙。

    二来其他公司到时候做转向的时候，ASML、佳能、尼康处于同一起跑线，ASML不会那么快形成垄断，新芯光刻机能买到一些技术。

    周新听完后想起原时空中林本坚在台积电工作的时候坚持要走浸没式光刻机路线，也没有听说当时林本坚经历过如此激烈的内心斗争啊。

    周新再一思考，觉得是因为之前属于是帮台积电打工，自己无论干的怎么样拿的都差不多，自然会有学术上的坚持，赌性会更强，输了自己的损失有限。

    现在新芯光刻机也有他的一份，技术路线一旦选错，失去的时间可再也回不来，损失是自己的。

    周新在思考，林本坚见对方不说话，继续说：“其实我一直很犹豫，因为干式光刻机大家都在走这条路，业内的同行业公司他们都是研发干式光